MEB Philips
XL30 ESEM

Matériel

Microscope Electronique à Balayage : Philips XL30 ESEM
Détecteurs : SE, BSE, EDX
Echantillon : 6" max., 50 mm X & Y
Résolution : 3.5 nm@30kV.

Domaine d'application

  • Etude de surface (défauts ...),
  • Etude de section polie (dimensionnement charge, épaisseur couches ...),
  • Caractérisation de matériaux (analyse élémentaire tout élément) ...

Principe

Un MEB (Microscope Electronique à Balayage) utilise un faisceau d'électrons pour obtenir des images agrandies d'une très bonne résolution.

Il peut également servir pour identifier des éléments présents dans l'échantillon grâce à leur propriété d'émission de RX au contact des électrons.

On parle alors de microanalyse dispersive en énergie (EDS), dans laquelle l'émission X est traitée électroniquement.

Les énergies des pics présents sont déterminées et elles sont comparées automatiquement à un fichier d'émission X d'énergies connues.

L'analyse est qualitative mais on peut avoir accès à des teneurs élémentaires relativement précises.

Les analyses ont été effectuées sur échantillons bruts ou bien après métallisation (augmentation de la sensibilité).

Le seuil de détection des éléments varie en fonction du mode d'analyse, il est de l'ordre de 500 ppm (0.05 %w).

Avantages

  • Permet une détection (qualitative) des éléments Carbone à Uranium (> 0,05 %w)
  • Technique non destructive,
  • Nécessite peu d'échantillon (quelques µg),
  • Pas de préparation d'échantillon.

Teneur en fraction par TGA

Technique qui permet de mesurer les pertes de masses lors d’un chauffage (30 à ...Lire la suite

Identification Structurale d’un polystyrène par IRTF

Les matrices Polystyrène sont identifiables en IRTF grâce aux bandes relatives ...Lire la suite

Identification d'inclusions sur la surface d'un composite par MEB-EDX

Un composite de type SMC qui présente des défauts de surface et sur laquelle on ...Lire la suite

Déformulation d'une peinture antifouling

L’objectif de ces analyses est de connaitre au maximum la composition de ces peintures ...Lire la suite