MEB Philips
XL30 ESEM

Matériel

Microscope Electronique à Balayage : Philips XL30 ESEM
Détecteurs : SE, BSE, EDX
Echantillon : 6" max., 50 mm X & Y
Résolution : 3.5 nm@30kV.

Domaine d'application

  • Etude de surface (défauts ...),
  • Etude de section polie (dimensionnement charge, épaisseur couches ...),
  • Caractérisation de matériaux (analyse élémentaire tout élément) ...

Principe

Un MEB (Microscope Electronique à Balayage) utilise un faisceau d'électrons pour obtenir des images agrandies d'une très bonne résolution.

Il peut également servir pour identifier des éléments présents dans l'échantillon grâce à leur propriété d'émission de RX au contact des électrons.

On parle alors de microanalyse dispersive en énergie (EDS), dans laquelle l'émission X est traitée électroniquement.

Les énergies des pics présents sont déterminées et elles sont comparées automatiquement à un fichier d'émission X d'énergies connues.

L'analyse est qualitative mais on peut avoir accès à des teneurs élémentaires relativement précises.

Les analyses ont été effectuées sur échantillons bruts ou bien après métallisation (augmentation de la sensibilité).

Le seuil de détection des éléments varie en fonction du mode d'analyse, il est de l'ordre de 500 ppm (0.05 %w).

Avantages

  • Permet une détection (qualitative) des éléments Carbone à Uranium (> 0,05 %w)
  • Technique non destructive,
  • Nécessite peu d'échantillon (quelques µg),
  • Pas de préparation d'échantillon.

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